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造成SMC傳感器誤差的因素有哪些?

發(fā)布時間: 2018-10-12  點擊次數(shù): 869次

造成SMC傳感器誤差的因素有哪些?

首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。

造成SMC傳感器誤差的因素有哪些?
zui后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
SMC壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準,盡zui大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

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